研究設備トップ成長装置測定・評価装置プロセス装置

成長装置 (Equipment for growth process)

  • MOCVD成長装置(InGaAs(Pも可)系)
  • MOCVD成長装置(GaN系)
  • MOCVD成長装置(GaInNAs系)
  • MBE成長装置(GaAs系、Sb系、N系)
  • MBE成長装置(GaN系)
  • STMその場観察可能なMBE装置
  • 有機デバイス作製装置

    測定・評価装置 (Equipment for measurement)

  • 電界放出走査型電子顕微鏡(1)
  • 電界放出走査型電子顕微鏡(2)
  • マルチモード型原子間力顕微鏡
  • コンタクトモード型原子間力顕微鏡
  • 走査型トンネル顕微鏡
  • レーザシステム(1)(Mira, Regen)
  • レーザシステム(2)(Mira-Seed)
  • トリプルモノクロメータ
  • フーリエ変換赤外分光装置
  • 電気測定用評価装置
  • X線回折装置
  • 紫外/可視/赤外分光光度計
  • 大気中光電子分光装置
  • 青色半導体レーザ顕微鏡

    プロセス装置 (Equipment for device process)

  • 電子線描画装置
  • 誘導結合型反応性イオンエッチング装置
  • レーザ素子用ダイボンダ装置
  • ワイヤボンダ装置
  • スパッタ装置
  • 電子線蒸着装置


  •