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測定・評価装置 (Equipment for measurement)

電界放出走査型電子顕微鏡(その1)
High-resolusion scanning electron microscope

Acceleration voltage: 30 kV
Resolution: 0.5 nm
Maximum magnification: 2000k
電界放出走査型電子顕微鏡(その2)
High-resolusion scanning electron microscope

Acceleration voltage: 30 kV
Resolution: 0.5 nm
Maximum magnification: 1000k
マルチモード型原子間力顕微鏡
Multi-mode atomic force microsope

コンタクトモード型原子間力顕微鏡
Contact-mode atomic force microscope

走査型トンネル顕微鏡
Scanning tunneling microscope

レーザシステム(1)(左:Mira, 右:Regen)
Laser system (1) (L: Mira, R: Regen)

レーザシステム(2)(Mira-Seed)
Laser system (2) (Mira-Seed)

トリプルモノクロメータ
Triple-Grating Monochromator

フーリエ変換赤外分光装置
Fourier-transformation-infrarered spetroscopy

電気測定用評価装置
Evaluation system for electrical measurement

X線回折装置
High-resolution X-ray Diffractmeter

X-ray mirror
Ge[220] 4-crystal monochromator
Assymetric Ge[220] 4-crystal monochromator
Hybrid X-ray mirror
紫外/可視/赤外分光光度計
UV-vis-NIR-spectrophotometer

Wavelength range: 185nm-3300nm
Wavelength accuracy: ±0.2nm(UV-vis region), ±0.8nm(NIR region)
Resolution: 0.1nm
大気中光電子分光装置
Photoelectron spectroscopy in air

Energy scan range: 3.4-6.2 eV
Light source: Deuterium lamp
Spectrometer: Grating type monochrometer
青色半導体レーザ顕微鏡
Blue-laser microscope